シリコン加工装置の新製品を本格販売8インチウエハー対応、MEMS需要見込む

摘要

住友精密工業はシリコンウエハーを高速エッチング（食刻）する装置の新製品「ASE-HRMX」の販売を本格化した。大口径の8インチウエハーに対応するのが特徴。自動車のエアバッグ用加速度センサーなどの微小電気機械システム（MEMS）部品の製造ではウエハーの大口径化が進行中で、旧製品からのシフトを進めることによってMEMS需要の取り込みを狙う。