世界最高分解能の電子顕微鏡を開発STEMで1A、TEMで0.7A8月に新製品発表を予定

摘要

米FEI社は世界最高分解能の走査型透過電子顕微鏡（STEM＝Fig）を開発した。 通常の透過型電子顕微鏡（TEM）としても使用できる。 分解能はSTEMとして1A、TEMとして0．7Aという。 現在、複数の電子顕微鏡専門の主要な研究者や顧客と秘密保持契約を結んで評価を進めており、デモ測定などが可能になるのは、8月にハワイで開かれる2005Microscopy andM icroanalysis meetingにおける新製品の正式発表以降になる。