ナノインデンテーション法によるナノメートルスケールでの機械物性の評価

摘要

本稿は，ナノインデンテーション法を用いた硬さ·弾性率の評価および球状ナノインデンテーション法を用いた降伏強度の評価について紹介する．前者については，装置間，手法間および異なる荷重·押込みスケール問のデータ整合性について解説し，さらに膜厚100nm以下·加熱時などの高分子低誘電膜の評価事例を紹介する．後者については，測定原理·方法，金属単結晶および薄膜に適用した例を紹介する．