社会システムを支えるセンサネットワーク技術：電池レス無線MEMSセーサ－SNA-MEMS－の開発

摘要

われわれはMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術を応用したセンサを電池レスで無線通信を行うモジュールに搭載したシステムを構築するためにSNA-MEMSの研究を行っている．SNA-MEMSは，複数のMEMS機能と，起電回路，無線通信回路，制御回路を搭載した高集積デバイスと，それを統合したネットワークシステムであり，最終ゴールは0.5mm以下の集積化を目指している．本誌では機能検証モデルとして，MEMS3軸加速度センサ，温度センサを搭載した1cm角の電池レス無線MEMSセンサ(SNA-MEMS Cube)を開発したので紹介する．