マイクロフローセンサと質量流量計シリーズ

摘要

マイクロマシニング技術を結集したマイクロフローセンサは，流量測定に必要なセンサ，ヒータ類を1チップ化したもので，センサそのものが気体の質量流量を直接計測できる．高感度（1mm／sという超低流速でも検出可能），高速応答（数ms），小型，低消費電力など，従来の計測センシング技術では得にくいような性能を実現した·株式会社山武の質量流量計シリーズはすべてこのマイクロフローセンサを搭載し，高性能な気体流量計，コントローラをご提供している·