薄膜磁気ヘッドスライダー用セラミックス材

摘要

今回，紹介するアルミナチタンカーバイト材（ALTIC材）は，情報化時代のストレージデバイスの中核的な地位を占めているハードデイスクドライブ(HDD)の読み書きを掌る薄膜磁気ヘッドスライダーとして使用される．薄膜磁気ヘッドは，このALTIC基板（ウエハ）に，最初，Siウエハに代表される半導体プロセスによって磁気回路が形成され，次に，この基板より個片のスライダーに加工される．ALTIC基板は，緻密で鏡面／高形状精度が必要とされ，スライダー加工においては，機械加工のみならずドライ加工含めた精密加工性，高品質で信頼性の高い加工面質が要求されている．このような要求に対応するため，加圧焼結プロセスを適用し．常に安定した品質が維持できるように原料から最終加工まで個々のプロセスを厳密に管理され製造されている．