薄膜磁気へツドスライダー用セラミツクス材

摘要

コンピュータ分野では外部記憶装置として高容量化と小型化が追求されてきた．従来,磁気ヘッドにはパーマロイや酸化物フェライトなどのバルク材が開発され量産化されてきた．IBM社は"Winchester Technology"と呼ばれる磁気ヘッドの空気浮上型記録装置を開発した．1978年に発表された3370型以降は基板上に磁気回路を半導体製造プロセスにより形成した薄膜磁気ヘッド（図2）が使用され．そのセラミック基板にAI_2O_3-TiC材料(以下，ALTIC材）が使用された．