Метод оценки составляющих погрешности измерения линейных размеров объектов в автоматизированных системах компьютерной микроскопии

摘要

Предложен метод оценки составляющих погрешности измерений линейных размеров объектов в автоматизированных системах компьютерной микроскопии с применением объект-микрометра и автоматизированной обработки изображений.