Проблемы измерений размеров в микроэлектронной технологии

摘要

Проанализированы состояние и проблемы измерений размеров в технологии изготовления микроэлектронных изделий с проектными нормами в сотни или десятки нанометров в условиях промышленного производства. Приведены аргументы о недостаточности относительных измерений и необходимости перехода к измерениям в абсолютной шкале размеров, обеспечивающим не только воспроизводимость, но и абсолютную точность результатов, что особенно актуально при освоении изделий с нанометровыми проектными нормами.