Определение зависимости диаметра электронного зонда РЭМ от тока пучка

首页> 外文期刊>Измерительная техниκа >Определение зависимости диаметра электронного зонда РЭМ от тока пучка

【24h】

机译：确定SEM电子探针的直径与束流的关系

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

获取外文期刊封面目录资料

页面导航

摘要

Разработан метод измерения зависимости диаметра злектронного зонда d растрового злектронного микроскопа (РЭМ) от тока пучка J.

机译：一种测量扫描电子显微镜（SEM）的电子探针直径d对束流J的依赖性的方法。