最先端フォトマスクの測長に求められる技術＜フォトマスクの計測技術者は、現代の予言者なのか？＞

摘要

フォトマスクと聞いて、その現物がすぐに思い浮かぶ読者もそうは多くはないと思われる。 測長技術についての話を始める前に、まずフォトマスクとはいったいいかなる物なのかを紹介しよう。