幅広い通信方式を持つデジタルマスフローコントローラ

摘要

マスフローコントローラ（以下MFC）は、流体の質量流量を電気的に制御する装置として、広範囲な産業分野で使用されている。特に半導体製造プロセスで多用されていることは周知の事実である。これらの最先端フィールドで培った技術をベースに新たにラインアップしたデジタルMFC「SEC－N100シリーズ」を紹介する。