高速絶対湿度計測器“RHM-1000シリーズ”とその活用＜RHM-1000シリーズに新たに加わった小型センサ搭載仕様の特長とその活用事例紹介＞

摘要

Si基板とPt薄膜材料をマイクロマシニング加工したマイクロヒータ構造の微小熱容量のセンサで、大気の温度·熱伝導度を検出することにより、温度·絶対湿度を高速に計測できる計測器「RHM-1000」について、本誌2001年8月号pp.51-52において解説した。 リアルタイムでピンポイントの測定ができ、これにょり温度湿度計測における高速応答の重要性を明らかにした。今回、小型センサを搭載したRHM-1000Sを加え、新たな特長とその活用事例を紹介する。