サファイア静電容量式圧力センサ

摘要

サファイア静電容量式圧力センサは，高耐食性材料であるサファイアが測定媒体に直接露出されたオイルフリー構造となっており，あらゆる環境に適用できる圧力センサである．本稿では，このサファイアMEMSの先駆けとも言えるオールサファイアセンサを紹介する．