LSI用配線材料（鋼とアルミニウムの比較）

摘要

現在LSI配線材料は鋸からCuに移りつつある．LSI配線を形成する立場からは，CuはAlに比べて扱い難い材料であるものの，性能面，信頼性面での優位性を買われて採用が進んでいる．しかし，微細化が進むにつれCuのこれらの優位性も手放しで達成できるわけで無く，材料の持つ性能を限界．まで発揮させる制御が必要なことが次籠にわかってきた·その制御のためにはまだまだ分かう ないことも多い·特に応九拡散といった観点がらの基礎的な検討を積み上げていく必要がある。