カーボン用新型アーク蒸発源によるDLC膜形成とその特性

赤理孝一郎

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カーボン用新型アーク蒸発源によるDLC膜形成とその特性

机译：新型电弧蒸发碳源形成DLC膜及其特性

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DLC膜の中でも近年最も注目されているta-C膜は，主にAIP法により形成されるが，カーボンターゲットのアーク放電の特殊性に起因した課題があり，量産性に優れたアーク蒸発源が望まれていた．本稿では，当社がカーボン用に新たに開発したアーク蒸発源の放電特性とそれを用いて形成したta-C膜を主とするDLC膜の特性について紹介する．

机译：在DLC膜中，近年来最受关注的ta-C膜主要是通过AIP方法形成的，但是由于碳靶的电弧放电的特殊性而存在问题，并且可获得质量生产率极好的电弧蒸发源。这是所希望的。本文介绍了我公司新开发的用于碳的电弧蒸发源的放电特性，以及使用它形成的DLC膜（主要是ta-C膜）的特性。

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来源
《金属》 |2016年第1156期|共5页
作者
赤理孝一郎;
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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类金属材料;冶金工业;
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1. カーボン用新型アーク蒸発源によるDLC膜形成とその特性 [J] . 赤理孝一郎金属 . 2016,第5a1156期

机译：新型电弧蒸发碳源形成DLC膜及其特性
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