MEMS技術を用いた非冷却赤外線熱イメージセンサ

摘要

赤外練熱イメージングセンサとは，物体が放射する赤外線を検出することで，対象物の温度分布を計測，画像化するセンサである．近年，MEMS技術を用いることで，高性能，低価格なセンサが開発されている．ここでは，これまでに報告されている様々な方式の赤外線熱イメージングセンサについて，それぞれの検出原理と構造を紹介する．