可視光透過法によるSiC結晶－溶融合金界面のIn-situ観察

摘要

ワイドギャップ結晶は，次世代の光·パワーデバイス用途への応用の期待が高い．溶液成長法は，高品質ワイドギャップ結晶の育成法として注目を浴びるが，高品質化の達成のためには結晶育成時の溶液との界面をナノスケールで制御する必要がある．本稿では，ワイドギャップ結晶の有する可視光透過特性を利用した，高温界面のIn-situ観察手法を概説し，SiC結晶とFe-Si合金間の界面観察にて見られた界面現象を紹介する．