レーザーCVDによる実用工具コーティング

摘要

切削工具へのセラミックスコーティングには優れた密着性が得られるCVDが適している．近年，工具の長寿命化のためにコーティング層を厚くすることや，新しい工具材料に対応するためにコーティング温度を低下させることが求められており，高速·低温成膜が可能なレーザーCVDは，これらの課題を解決する新しいプロセスとして大いに期待される．本稿では，レーザーCVDによる工具用サーメットへのTiNおよびTiN/Al_2O_3複層コーティングについて紹介する．