超音波で変える塑性加工·金型製作(20)金型を対象とした遊離砥粒加工への応用のためのポイントと事例（2）－加工要素1（加工圧、スラリー、工具材質）の影響について

摘要

電子機器、光学機器など各種機器の発展に伴い、超精密加工技術やマイクロ加工技術もますます高精度化に向かっている。セラミックスに対して比較的小さいエネルギーで大きい割れを発生させ、発熱もほとんどない効率的な加工を行うことができる超音波加工においても例外ではなく、高精度化と高能率化および他の加工技術との差別化や高付加価値化が要求されている。前回は、金型材料として期待される硬質脆性材料のセラミックスに対する超音波遊離砥粒加工の原理·特性について解説した。今回は、超音波加工に影響を与える要素のうち、加工圧、スラリー、工具材質による加工特性について述べる。