供給システム改革によるエネルギー消費量削減

摘要

当工場は24時間365日フル稼働で半導体を製造しているエネルギー多消費型工場であり，襲雷多発地域である北陸に位置するために，エネルギーの高効率利用と落雷等に起因する瞬低から生産設備を保護する目的で10台のコージェネレーション設備を工場展開と共に順次導入してきた。しかし，近年の原油価格高騰などの影響による原動コストの増加，年々増大する環境負荷（図－1参照）への早急な対応などが課題となったため，燃料消費量の削減を図るべく現状のエネルギー供給システムの改革に取り組んだ。