高圧エアのポテンシャル追求による原単位改善活動

摘要

当社は東芝グループの半導体製造拠点としてチップから組立てまで一貫生産をする最新鋭工場であり，エネルギー使用比率の94％が電気である。この中でも高圧エア（コンプレッサ電力）の割合が28.6％と最も高いことから，高圧エア電力削減に取り組むこととした。供給設備ロス部分の調査（機器本体，パージロス）から始め，システムの根本的見直し（インバータ（INV）機＋台数制御の導入，コンプレッサ設置位置統合，ドライヤ更新など）を行い，高圧エアの安定供給を実現。続けて消費側ロス部分の調査を行い，管末配管ループ化，圧力センサ設置による安定供給化·見える化とともにエア漏れ改善や製造設備のスペック（圧力·露点）の見直しを全員参加で取り組み，消費電力の削減·高圧エア原単位改善を図った。