透明酸化物半導体TFTで電子の移動度10倍に

摘要

凸版印刷は次世代のディスプレイ材料とされる透明酸化物半導体の薄膜トランジスタ（TFT）で、塗布方式で膜をつくりながら動作速度にかかわる電子の移動度を従来の約10倍に高めた。塗布方式は酸化物半導体の膜を効率よくつくれるが、動作の表示を切り替えるTFTに使うには電子の移動度が低いことが課題だった。