DLCの高機能膜化と産業応用

摘要

DLC（Diamond like Carbon：ダイヤモンドライクカーボン）は、炭素が主な原料の膜で低摩擦性と高硬度を特徴とする。DLCの構造は、長距離秩序を持たないアモルファス構造であり、短距離秩序としてσ結合（sp~3混成軌道）とπ結合（sp~2混成軌道）が混在している。また、DLCにはダングリングボンドとして不対電子が多数存在し、水素が含有する場合はその一部が水素終端されている。