МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВ ИЗ КОМПРЕССОРНЫХ СТАЛЕЙ МЕТОДОМ ТЕРМОСТИМУЛИРОВАННОЙ ИОННОЙ ДИФФУЗИИ В ТИТАНОВОЙ ПЛАЗМЕ ВАКУУМНОДУГОВОГО РАЗРЯДА

摘要

Рассмотрен процесс ускоренной термостимулированной ионной диффузии (ионного модифицирования) поверхности образцов компрессорных сталей ЭИ961 и ЭП866 ионами титана в плазме сильноточного вакуумно-дугового разряда (ВДР) ионно-плазменной установки (ИПУ) МАП-3. Получены зависимости температуры образцов в камере напыления ИПУ МАП-3 и скорости удельного изменения массы образцов от напряжения смещения при силе токе ВДР 300 А. Изучен элементный состав поверхностного слоя образцов после ионной обработки. Показано, что при силе тока ВДР 300 А и напряжении смещения до 400 В температура образцов компрессорных сталей не превышает 440℃, а напряжение инверсии, определяющее переход от процесса конденсации к процессу ионного травления подложки, для стали ЭП866 составляет -360 В и -390 В для стали ЭИ961. Проведены Исследования коррозионной стойкости образцов компрессорных сталей после их модифицирования при силе тока ВДР 300 А.