Показано, что на нанометровом и атомарном пространственных уровнях микроструктура аморфных пленок сплавов Со-Р, содержащих 18-20 ат.% Р, характеризуется сеточным типом строения с размерами структурных неоднородностей 30-100 А. При этом степень ближнего порядка в этих неоднородностях различна: области повышенной плотности вещества в основном состоят из разупорядоченных атомов, в отдельных местах наблюдаются кластеры с признаками атомного упорядочения размером 10-20 А, области пониженной плотности вещества характеризуются отсутствием атомного упорядочения. Использование режимов коррекции аберраций позволило установить, что сеточная микроструктура имеет сложное внутреннее строение - области пониженной и повышенной плотности вещества, наблюдаемые на нанометрическом пространственном уровне как однородные среды, на атомарном пространственном уровне проявляют структурную неоднородность, выражающуюся в дальнейшем расслоении на области с разными плотностью вещества и ближним порядком в расположении атомов. Показано, что поверхностные дефекты в виде пор и отверстий в аморфных пленках являются активирующими факторами начала процессов кристаллизации.
展开▼
