300 mm ウエーハ用輸送容器について

摘要

300mmウエ一ハ時代に向けた開発作業が精力的に進められており，1994年に次世代ウエーハとして300mm の採用が決められて以来,半導体業界の減速に￡り当初のロードマップより遅れながらも，いよいよ現実のものとして現れつつある。 その間,ウエーハ輸送容器についても,業界初の試みとしてSEMI規格化が検討され，300mm用として現在2穫糞の規格が制定されている。 両者とも必要性があり制定されたものであるが，それぞれに長所，短所がある。 M29に対応した製品ほ既に使っていただいているユ一ザ一も多いが,新規格M31に対応した当社製品をこの 度完成したので，その紹介も兼ねて新規格の背景などを述べたい。