НОВЫЕ ИНВАРИАНТНЫЕ ВЕЛИЧИНЫ В ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОМ МЕТОДЕ ИССЛЕДОВАНИЙ

摘要

Исследованы аналитические особенности решений основного уравнения эллипсометрии Друде для амплитудно-фазовых характеристик поля световой волны при разных углах падения (0<φ{sub}п<π{sub}2) для различных материалов в модели идеальных границ раздела сред Френеля. Установлен факт несогласованности решений прямой и обратной задач Друде. Методами численного анализа при компьютерном моделировании установлена причина угловой зависимости решений n(φ{sub}п), k(φ{sub}п) уравнения Друде. Показано, что классические инварианты Кеттелера для этих модельных систем при различных углах падения могут быть заменены новыми инвариантными величинами, связывающими минимум амплитудной функции отражения с показателем светоослабления при заданном показателе преломления. Предложена новая методика в эллипсометрическом методе исследования на основе синтеза закона Брюстера для псевдодиэлектрических материалов и новых инвариантов однозначного определения показателей преломления п и экстинкции k для модели идеальной границы Френеля.