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2次元画像からのライン合成による高感度かつ保全性に優れた欠陥観測方法

机译:缺陷观察方法具有很高的灵敏度,并且通过2D图像的线条合成具有出色的维护性

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摘要

フィルムやシートのようなウェブ状製品の外観検査には、図1に示すようなラインセンサを用いた検査システムが使用されることが多い。製品が一定方向に搬送され、これと直交する方向にラインスキャンを行うことにより製品全域を撮像し検査する。ラインセンサによるウェブ検査において、従来、実用面で2つの課題があった。
机译:如图1所示,使用线传感器的检查系统通常用于目视检查薄膜和薄片之类的网状产品。沿特定方向运输产品,并通过在垂直于此方向的方向上进行线扫描来对整个产品进行成像和检查。过去,在使用线传感器的卷筒纸检查中存在两个实际问题。

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