高精度赤外線カメラで見えない欠陥を視る

摘要

量子型の撮像素子を用いた高精度赤外線カメラは非常に応答性がよい。積極的に温度変化を加えて測定するアクティブ法を利用して“見えない欠陥を視る”ことが可能となる。従来の温度場から欠陥を見つけるパッシブ法に比較すると、検出力は飛躍的に大きくなる。温度変化の与え方としては、加熱ランプや通電などによる加熱法、荷重負荷による熱弾性発熱法、超音波などによる加振発熱法、などがある。