Показана возможность получения толстых (3-7мкм) пленок твердого раствора Ра1 - 6% (мае.) Ки в процессе магнетронного распыления мишени соответствующего состава. Исследованы структура, фазовый состав и морфология поверхности пленок сконденсированных на поверхности окисленного кремния, фторфлогопита и анодного оксида алюминия при 300-950 К. Общая закономерность - образование градиентной зеренной структуры толстых пленок, характеризующейся высокой дисперсностью зерен на начальной стадии роста, последующим селективным ростом зерен и субзерен анизотропной формы и преимущественной ориентации <111>, не зависит от структуры и морфологии поверхности подложки.
展开▼
