ФОРМИРОВАНИЕ НАНОФАЗНЫХ СИСТЕМ НА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

摘要

В результате воздействия ВЧ плазмы при пониженном давлении на стали, титановые и твердые сплавы на их поверхности образуются нанофазные слои толщиной до 30 нм. Слои образуются под действием бомбардировок поверхности низкоэнергетическими ионами с энергией 10-100эВ. Под их воздействием изменяются также приповерхностные слои, в которых образуются нитриды, оксиды и карбиды элементов, входящих в состав обрабатываемого металла.