Влияние дислокаций на параметрические свойства полупроводниковых приборов

摘要

Рассмотрено влияние дефектов на свойства полупроводниковых элементов. Изучен процесс образования дислокаций. Исследованы структуры полупроводниковых кристаллов с разным уровнем механических напряжений. Проведена оценка влияния дислокаций на электрофизические свойства полупроводниковых элементов.