Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния

摘要

Проведен анализ рынка и выбрано оборудование для двусторонней шлифовки и полировки подложек полуизолирующего карбида кремния политипа 6Н диаметром 3 дюйма. Показано, что достигнутые в работе параметры прогиба и коробления подложек не превышают 5 мкм, разброс по толщине не - 1 мкм, а шероховатость поверхности после двусторонней полировки находится в пределах 1...2 нм.