Особенности нелокального разогрева электронов в транзисторных структурах с субмикронным рельефом поверхности

摘要

Исследованы особенности нелокального разогрева электронов в зависимости от размеров заглубления и расположения затвора в нем для полевых транзисторов с коротким затвором расположенным в субмикронном заглублении, Обнаружено, что наличие заглубления существенно меняет характер разогрева электронов, Даже в структурах без затвора при размерах заглубления около 1,5 мкм дрейфовая скорость электронов более чем в полтора раза превосходит скорость элекгронов в сильном поле. Наличие заглубления приводит к существенному изменению распределений дрейфовой скорости и напряженности электрического поля в приборе, а при открытом затворе статический домен перемещается не к электроду стока, а на край заглубления и не меняет форму.