Резонаторы и фильтры сверхвысоких частот на объемных акустических волнах: современное состояние и тенденции развития

摘要

Дана характеристика современного состояния и перспектив развития акустоэлектронной элементной базы СВЧ-диапазона наобъемных акустических волнах. Изложение основано на оригинальных результатах ИРЭ РАН в области создания СВЧ-резонаторов и фильтров, а также датчиков физических величин на основе СВЧ-резонаторов. Особое внимание уделено разработкам ИРЭ РАН в области метрики новых и перспективных для СВЧ-диапазона акустических материалов, а также тонкихпьезоэлектрических и Металлических плёнок, предназначенных для создания перспективной элементной базы СВЧ-диапазона.