X線CT装置による寸法計測値の信頼性評価

摘要

近年X線CT装置の性能が向上し、従来では困難であった寸法計測への応用が検討されている。そこで都産技研にあるX線CT装置を用いた性能評価を行うとともに、一般的な寸法計測に用いられる三次元座標計測機（CMM）との比較や各種条件が寸法値に及ぼす影響について低膨張セラミックスであるネクセラ製のステップシリンダー（φ14、18および22mm）を用いた評価を行った。