変動隙間幅を持つ模擬閉口き裂の高調波画像化

摘要

き裂間隙がサブミクロンオーダで変化する模擬閉口き裂を拡散接合により試作し，水浸高調波法によりそのき裂を画像化した．入射波振幅にほぼ比例する励起電圧の増大によりき裂面における反射面積が増大することを確認し，欠陥間隙の変化による高調波発生を確認することができた．