産業用X線CT装置による形状測定評価

摘要

X線CT装置はこれまで内部の構造解析等に利用されてきたが，サンプルの内，外形について三次元情報を得ることができるため，最近は，X線CT装置を内部形状の計測機器として利用しようという動きが進んでいる。しかし，測定値の信頼性については，評価されていないのが現状である。そこで今回，ルビー球，ステップシリンダ及びフォレストゲージについてX線CTによる撮影画像から寸法測定を行いその測定誤差について評価を行った。