CoFeB／ポリイミドハイブリッド薄膜コプレーナ線路を用いた1.8GHz帯携帯電話PA用インピーダンス整合器の低損失化の検討

摘要

GHz帯無線情報通機器の需要が拡大し続けており、特に携帯電話ではカメラ等の多機能化により電子デバイスに対する小型化の要求が強くなっている。 本研究では，金属磁性膜を用いた伝送線路をGHz帯携帯電話パワーアンプ用インピーダンス整合素子に適用することを目的としている。 筆者らはCoFeB金属磁性膜、ポリイミド誘電体膜およびAl導体膜を用いたハイブリッド伝送線路デバイスを試作した結果を既に報告したが、デバイスの挿入損失が大きく、更なる低損失化が課題であった。 ここではデバイスの低損失化に対する種々の検討を行い、その結果を基にデバイスを試作し、評価した結果を報告する。