磁性多層膜における磁気特性のスパッタガス依存性

摘要

磁性多層膜の巨大磁気抵抗効果(GMR)や垂直磁気異方性などの磁気特性は成膜時のスパッタ条件に大きく依存することはよく知られている。 しかし，成膜時におけるプラズマのどのようなパラメータが多層膜の界面構造や磁気特性に影響を及ぼしているかについての定量的な理解にはまだ十分とは言えない。 本研究では、プラズマ中のAr，Krイオンの密度やエネルギーの分布を実測するとともに，磁性多層膜を作製し，その磁気特性を測定して，プラズマ状態と磁気特性の相関について検討した。