PLD法により作製したNd-Fe-B系交換スプリング厚膜磁石の微細構造

摘要

電子デバイスの小型化に伴い、その中に組み込まれる小型な磁石の研究も盛んに報告されている。我々はこれまでに、PLD (Pulsed Laser Deposition)法を用いた簡便な手法により、残留磁化値が1Tを超える数10μm厚積層型交換スプリング磁石膜を作製してきた。 本稿では、その厚膜磁石の微細構造を観察した結果を報告する。