顕微ラマン分光法によるNITRIDE-LEDの微細領域での温度分布解析

摘要

本研究では、III族窒化物半導体LED動作時の内部微細領域における温度分布を、顕微ラマン分光法により測定した。 その結果、LEDの面内において温度分布が存在することが確認され、LEDのp電極領域が高温であることが確認された。 また、本測定の優位な点として、深さ方向に対する測定も可能であり、半導体デバイスの3次元的な熱解析が可能であることが示唆される結果が得られた。