MEMSフアブリペロー干渉計を用いた表面応力センサによる非標識たんぱく質検出

摘要

本研究では、フォトダイオード上にMEMS可動膜を形成し半導体基板とのギャップでファブリペロー干渉計を構成することによって、非標識にたんぱく質を検出するセンサを提案する。フアブリペロー干渉により、膜のたわみに対して、透過率が非線形的に変化することを利用し、表面応力を高感度に検出することができる。従来技術と比較し、非線形変化による信号増幅と分子間力に敏感に反応する有機膜を用いることにより感度を2桁程度向上することが期待できる。試作したセンサ上にウシ血清アルブミン抗体0.1mg/mlを用いて、電流値が23.7nA 変化したことを確認し原理検証に成功した。