省エネ対応の高性能絶縁膜「ゼオコート」開発

摘要

日本ゼオンは11月10日、高性能な有機絶縁膜「ゼオコート」を開発したと発表した。ゼオコートは液状で、さまざまな方法での塗布が可能。①約150℃での乾燥により、透明性の高い薄膜を形成することが可能②耐熱性に優れ、熱による分解物が発生しにくい③電気絶縁性に優れる④フォトリソグラフィー性能の付与により、ミクロンオーダーのパターン形成が可能――などの性能を有している。