電子ビーム物理蒸着法による遮熱コーティング皮膜の創成と特性評価

摘要

電子ビーム物理蒸着（EB－PVD）法の成膜プロセスや合成された遮熱コーティング皮膜の微構造や諸特性について，「ナノコーティング技術プロジェクト」の成果を紹介しながら概説してきた。 産業的観点では，信頼性の高いTBCシステムは先進型ガスタービンの差別化技術の中核であり，各メーカーが開発にしのぎを削る分野である。 また学術的観点からも，EB-PVD法によるTBCは材料物性工学や結晶工学，プロセス工学などを含む多くの興味深い問題を提起する。 わが国のEB-PVD/TBCの技術開発が欧米諸国の後塵を拝したことは否めないが,得意とするナノレベルでの解析·評価技術との融合によって，TBCシステムの飛躍的な性能向上と，先進的成果の情報発信が期待される。