カーボンフェルト大気圧マイクロ波放電プラズマによるチタン表面の窒化

摘要

炭素繊維から成る一対のカーボンフェルト（Carbon Felt,CF）を平行に配置し，大気圧下でマイクロ波を照射すると，CF間に放電が発生し，CF間は瞬時に1200℃を超える高温状態となるl）。本研究では，このようなカーボンフェルト大気圧マイクロ波放電（CFAPMD）を用いて，窒素雰囲気（N_2－CFAPMD）下でチタン（Ti）金属表面を処理することにより，その表面に窒化チタン層を形成させる方法について検討した。