アノード酸化を利用したAl薄膜の表面加工における電解液の影響

摘要

筆者らは，既報1においてスパッタリング法で成膜した刃薄膜に対し，フォトリソグラフィとアノード酸化処理を組み合わせることで，極めて低いアスペクト比構造を有する凹凸形状が得られることを報告した．この表面形状が形成される機構は，アノード酸化処理で生じる酸化物の体積膨張を利用するものである．これまでに，特徴的な表面形状が得られる条件として,希薄なH_2SO_4水溶液を電解液に用いた場合について検討を行ってきたが，それ以外の電解液については検討されていない．