レーザー照射によるアルミニウムのパターニングーパターンの精緻さに及ぼすレーザー照射条件の検討

摘要

近年、マイクロマシンの作製や電子デバイスの軽薄短小化を実現するための微細加工に関する研究開発が活発に行われており、その多くがフォトリソグラフイーによる微細構造作製法を利用しているが、この方法は種々の問題点を抱えている。 このような観点から発表者らは、アノード酸化とレーザー照射とを組み合わせた微細構造作製法の開発を試みており、焦点距離20mmのレンズの使剰により、ライン幅15μmを有する微細パターンの形成が可能であることを見い出している。 本研究においては、アルミニウム試料にポーラス型アノード酸化皮膜を化成したのち、焦点距離のより短いレンズを用いてレーザーを照射したさいの皮膜破壊挙動を検討し、精度の高いパターニング条件を見い出すとともに、レーザー照射部のみに電気めっきを行うことにより、アルミニウム表面上に微細金属パターンを形成することを試みた。