フツ素イオンを含有した電解質水溶液中での陽極酸化がNb陽極の漏れ電流に及ぼす影響

摘要

我々は、ニオブ陽極の漏れ電流を抑制するため陽極酸化時の電解質種の検討を行ってきたり．この申で．誘電体酸化膜申にアニオンが含有されることにより欠陥の生成が抑制され中でも電解質としてリン酸を用いることにより酸化膜表面にリンが偏在し漏れ電流が著しく抑制されることを報告したー方，陽極酸化にフッ素イオンを含む電解質水溶液を用いた場合．酸化膜内部にもフッ素が含有されると言われているコ）．